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Ulvac UTM-3303FHA涡轮分子泵维修，Ulvac?磁悬浮泵保养
ULVAC采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承，实现了***、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型，提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺，FW系列是广域·大流量型，用于高负荷工艺和中间·硬工艺。
