前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C-PECVD
前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C-PECVD
产品价格:(人民币)
  • 规格:BTF-1200C-II-SL-400C-PECVD
  • 发货地:安徽合肥
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  • 最小起订量:1套
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    商品详情

      特点及用途:

      前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式,低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。

      前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C配有前端预加热炉,辅助固态源蒸发,后端为单温区加热炉 ,温度控制精确,操作简便,对于气相沉积,二维材料,等离子处理生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

      前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C

      1.与传统CVD系统比较,生长温度更低。

       2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。

       3.设备特有的zhuan利技术使得整管辉光均匀等效,均匀生长

       1.加热系统

      zui高温度

      1200℃

      使用温度

      ≤1100℃

      炉膛有效尺寸

      Φ50mm(炉管直径可根据实际需要定制)

      炉膛材料

      氧化铝、高温纤维制品

      热电偶类型

      K型热电偶

      控温精度

      ±1℃

      控温方式

      30段可编程控温,PID参数自整定

      加热长度

      200+200mm

      恒温长度

      100+100mm

      加热原件

      电阻丝

      供电电源

      单相,220V,50Hz

      2、预热系统系统

      zui高温度

      400℃

      炉膛有效尺寸

      Φ50mm(炉管直径可根据实际需要定制)

      炉膛材料

      氧化铝、高温纤维制品

      热电偶类型

      K型热电偶

      控温精度

      ±1℃

      控温方式

      30段可编程控温,PID参数自整定

      加热长度

      100mm

      加热原件

      电阻丝

      额定功率

      800W

       

      3、PE系统

      功率输出范围

      0W~500W

      zui大反射功率

      100W

      射频输出接口

      50 Ω, N-type, female

      功率稳定度

      ≤5W

      谐波分量

      ≤-50dbc

      供电电压

      单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

      整机效率

      >=70%

      功率因素

      >=90%

      冷却方式

      强制风冷

       

      4、三路质子流量控制系统

      连接头类型

      双卡套不锈钢接头

      标准量程(N2)

      50sccm,100sccm、500sccm

      (可根据用户要求定制)

      准确度

      ±1.5%F.S

      线性

      ±1%F.S

      重复精度

      ±0.2%F.S

      响应时间

      气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

      工作压差范围

      0.1~0.5 MPa

      zui大压力

      3MPa

      接口

      Φ6,1/4''

      显示

      4位数字显示

      工作环境温度

      5~45高纯气体

      压力真空表

      -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

      截止阀

      Φ6

      内外双抛不锈钢管

      Φ6

       

      5、低真空机组

      空气相对湿度

      ≤85%

      工作环境

      5℃~40℃

      工作电电压

      280V

      抽气速率

      32m3/h

      极限真空

      5X10-1Pa(空载冷态)

      工作压力范围

      1.01325X105~1.33X10-2Pa

      耐压值

      0.03MPa

      进气口口径

      KF40

      排气口口径

      KF40

      连接方式

      采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

    在线询盘/留言
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