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仪器型号
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VMS6040CNC
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工作台
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X、Y轴行程（mm）
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600*400
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Z轴行程（mm）
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200调焦及辅助测量
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工作台尺寸（mm）
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760*560
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玻璃台面尺寸（mm）
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450*650
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传动型式
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X、Y、Z轴均采用马达驱动滚珠丝杆传动的型式
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数据测量系统
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光学尺解析度：X、Y、Z轴0.0005mm 电脑自动采样
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专业软件进行资料分析处理 X、Y坐标示值误差：≤（3+L/200）um
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影像瞄准系统
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高解析度CCD彩色摄像机
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0.7~4.5X变焦镜头，总视频放大倍率为30~190X，配2X物镜时，总视频放大倍率可达380X
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照明系统
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连续可调式LED环形表面光及轮廓光，根据放大倍率确定最大光强
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X、Y轴马达运动速度
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<120mm/s
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Z轴马达运动速度
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<60mm/s
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马达运动步长
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0.4mm/步
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马达分辨率
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1000步/转
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仪器外形尺寸（L*W*H）
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1840*960*1867
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仪器重量（kg）
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800
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