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一般综合利用蒸馏、化学处理、气体吸收、颗粒控制及亚沸蒸馏等多种方法来制备超高纯HF，满足各项技术指标。蒸馏设备还需考虑高温下材质的抗腐蚀性,一般用金、铂、银等或聚四氟乙烯制造。此外,生产装置的设计取决于工艺流程的布置,利用物料自然向下流动的垂直布置能够在中部制备高纯HF,底部过滤产品、罐装及贮存,能减少泵的输送,节约能量并降低成本,避免二次污染。电子级HF的生产流程:经过化学预处理的工业无水HF送入精馏塔进行精馏得到HF气体;冷却HF并送人吸收塔,吸收用超纯水,任液比与喷淋密度继续纯化电子级HF。
