MITO DENKO水户电工MBE-260_MBE装置


MBE装置MBE-260概要：
水户电工MBE设备是超高真空装置，可以用从外部引入的激光在真空中激发，并将材料沉积在衬底上。



MBE装置MBE-260规格参数：  
Configure                                                                                                    Spec

Processing room 
and vacuum exhaust system                   Chamber Sharpφ260mm               Spherical SUS
                                                              Reaching vacuum                          Less than6.7×10-7Pa (5×10-9Torr)
                                                              Ceramic bearing 
                                                              turbo pump                                   250L/s
Target revolution unit                             φ20mm×6 axes
                                                              Rotation / revolution motor drive (PC control)
Substrate heating unit                            Infrared lamp substrate heating unit (can be changed to semiconductor 
                                                              laser substrate heating unit)
                                                              Size of substrate                            10mm
                                                              Maximum                                      
                                                              heating  temperature                     Above 800℃
Common specification                            Power supply / control rack (JIS standard compliant) integrated chamber frame
                                                              PLD automatic control system (PC and control software)



了解更多：http://www.hapoin.com/Science_Device/


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