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SC涡旋式真空泵
目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速，对洁净真空的要求越来越高。为了满足客户对无油洁净真空的需求，欧瑞康莱宝推出了SC系列涡旋式真空泵。
1、SC系列真空泵特点：
·可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品SC5/15/30D；
·高极限真空，最低可达0.01mbar；
·低噪声；
·低振动；
·允许进气压力大；
·重量轻；
·能耗低；
2、应用范围：
·电子束焊接；
·激光；
·检漏系统；
·加速器/同步加速器；
·表面分析仪；
·STM’s；
·ELMI；
·小型涡轮泵组；
·搬送室；
