C03 活塞式和涡旋式干泵

ECODRY M 系列活塞式干泵
Ecodry系列为欧瑞康莱宝最新推向市场的一种干式泵。它可以满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说，结构简单，价合理，因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技术参数：
抽速：14m3/h～30m3/h
极限真空度：5.5×10-2mbar
排水蒸气能力：25mbar(最大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特点：
1、结构简单，易于操作和维护；
2、工作过程中不产生粉尘；
3、耐粉尘，排水蒸气能力强；
4、低能耗，坚固耐用，可靠性高；
5、可以选配变频器增大抽速；
典型应用：质谱仪，电子显微镜，照明，镀膜，loadlock，无油高真空前级泵等。