1. 测量参数：Ra、Rz、Rq、Rt

2. 取样长度：0.25mm，0.8mm，2.5mm三挡可选

3. 评定长度中含有5个取样长度(5L)

4. 测量范围Ra：0.025-12.5(?m)

5. 量程范围：160μm

6. 触针角度：90°

7. 导头纵向半径：45mm

8. 针尖材料：金刚石

9. 针尖半径：5μm±1μm

10. 触针测力：4mN(0.4gf)

11. 最大驱动行程：18mm/0.71inch

12. 驱动速度：
         测量时： 当取样长度= 0.25mm　　Vt=0.135mm/s
　　　　           当取样长度= 0.8mm　　 Vt=0.5mm/s
　　　　           当取样长度= 2.5mm　　 Vt=1mm/s
         返回时： V=1mm/s

13.    示值误差不大于±10%

14.    示值变动性不大于6%