MV+MN型过欠压保护器MEMS产业化对专用设计工具的需求，同时各种先进的设计方法及设计理念也主要体现在该
类设计工MV+MN型过欠压保护器具中.本书将着重讨论用于构建MEMS集成设计工具的设计方法及关键技术。
    纵MV+MN型过欠压保护器览当前的MEMS集成设计工具，分析其结构特点，可以发现其基本构成主要包括三部
分.第一部分就MV+MN型过欠压保护器是各种各样的仿真模型库，这一部分是来自对MEMS器件开发经验的总MV+MN型过欠压保护器结，
是MEMMV+MN型过欠压保护器S设计工具的“功能器官”。第二部分是仿真支撑平台，主要是系统级、器件级和工艺
级仿真支撑MV+MN型过欠压保护器平台，MV+MN型过欠压保护器来对所建立的各种仿真模型进行求解，堪称MEMS设计工具的“骨架”。这MV+MN型过欠压保护器
MV+MN型过欠压保护器三个仿真支撑平台分别由电路仿真平台、结构的有限元仿真平台和工艺版图编辑平台来承担。MV+MN型过欠压保护器
而第三部分就是MEMS设计方法。系统的MEMS设计方法及其理论体系是构建MEMS集
成设计工具的理论基础MV+MN型过欠压保护器，堪称MEMS设计工具的“灵魂”.其除了直接服务于MEMS集成设
计工具的开发外，还对指导、MV+MN型过欠压保护器促进以及规范MEMS产品的开发起着重要的作用。当前应用最MV+MN型过欠压保护器
为广泛的MEMS设计方法是源自微电子行业的结构化MEMS设计方法.
1.3结构化MEMS设计方法及面临的挑战MV+MN型过欠压保护器
    从20世纪70年代开始，结构化设计方法在微电子行业得到了非常成功的应用「19]。到20
世纪90年代，人们开始探索该方法在机械系统中的应用，并认为MEMS系统最有可能采用结
构化设计方法「19].而到了1995年，美国国家自然科学基金委员会在加州理工大学(Caltech )
组织召开的“Structured Design Method for MEMS"研讨会上正式提出了MEMS的结构化设
计方法〔‘.〕。这种结构化设计方法借鉴了微电子设计(EDA)的成功经验，强调类似于EDA的
分层次自顶向下(Top-Down)设计，如图1-2所示.这种自顶向下的结构化设计方法从系统

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