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过欠压脱扣器与小型断路器配合使用行业发展的推动作用即是一个典型的案例。EDA工具的出现直接导致了微电子行业设计与过欠压脱扣器与小型断路器配合使用
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过欠压脱扣器与小型断路器配合使用总额都在40亿美元以上。
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过欠压脱扣器与小型断路器配合使用斗目标.当前，全世界已有几十种MEMS设计工具[3-19]。一般可将这些设计工具分成两大
类过欠压脱扣器与小型断路器配合使用。第一类是集成化设计工具，为MEMS用户提供了从系统行为建模与仿真到器件物理分
析，再到版图设计和工艺建模仿真等全过程的设计解决方案，典型的有CoventorWare[33 , In-
tellisuite[']和法国的MEMS Pro"'，中过欠压脱扣器与小型断路器配合使用国的MEMS Garden[d]等。第二类是MEMS特定功能过欠压脱扣器与小型断路器配合使用
模块的设计工具，其针对MEMS设计过程中某一阶段的设计需求而开发，并不提供整套解决
方案。典型的设计工具包括
MEMS系统级建模与仿真软件Nodast'], Sugar[e]等;多物理场藕
合建模与仿真软件Comosol[9]
, Ansys Multiphysics[10]等，工艺版图编辑软件L-Editt"], LA-
SI[IY〕等;宏建模软件AutoMM[z3], ROM[i'], Mor4Ansys[15〕等;工艺模拟软件
ACES["], Simo-
de("] ,SEGSt18]等.这些分散的软件模块已经有很多集成在第一类集成设计工具里。
在这两类设计工具里，集成设计工具提供了完备的MEMS建模与仿真解决方案，符合