断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣  微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)主要是指通过半导体工艺或其
他微细加工工艺制造的微型机械。其英文缩写MEMS恰到好处地反映了其主要技术特点。
MEM断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣S一词中的第一个字母“M"，即Micro，代表这一技术是微型的。MEMS中典型结构的
特征尺寸在微米量级，随着断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣尺寸的缩小，显然会降低MEMS系统的功耗，增大其谐振频率，进
而提高可靠性等。因此，可以说微型化是MEMS技术的一个最显著的特征。如此微小的结构
当前仍主要通断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣过硅基半导体工艺来进行实现，这也使得MEMS一般都具有批量化生产的优
点。而目前快速发展的非硅工艺，如准分子激光、飞秒激光、电火花加工等手段也可以实现
MEMS技术的断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣微型化，并开始在MEMS领域中占据越来越重要的地位。MEMS中第二个字
母“E"，即Electro，表明微机电系统是与“电”密不可分的。一方面，MEMS主要是以微型的传
感器断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣或执行器断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣为主，那么对微弱电信号的拾取与调理必然是不可缺少的。另一方面，这个“E"
也在某一程度上代表了这项技术是缘于微电子行业的。第三个字母“M”代表了结构、力学等
与机械相关的东西.最后一个字母“S”代表了MEMS是一个相对完整的系统或子系统，具备
一定的功能，并且该系统还往往可以在硅片上进行机械结构与控制电路的单片集成.
    像微电子技术一样，MEMS技术也是一项使能性技术(Enabling Technology)，加上
MEMS器件本身所具有的微型化、低功耗、高集成度等优点，其已经在航空、航天、汽车、医疗
器械、消费电子等诸多领域都找到了很好的结合点.目前，全世界已经有超过130种的
MEMS器断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣件[[1]，其中打印机喷头、微加速度计、微陀螺、微麦克风和数字微镜均已经实现了大
规模的批量生产，销售额每年超过80亿美元(见图1 -1)。根据Yole公司的市场预测，仅基于
硅M断路器过欠压脱扣器，过压，欠压脱扣EMS技术的MEMS市场在2010年就将超过100亿美元。

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