二维材料设备CVD系统
二维材料设备CVD系统
产品价格:¥55500(人民币)
  • 规格:BTF-1200C-II-SL-CVD
  • 发货地:合肥
  • 品牌:
  • 最小起订量:1套
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    会员级别:试用会员
    认证类型:企业认证
    企业证件:通过认证

    商铺名称:安徽贝意克设备技术有限公司

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    商品详情

      此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好

      硫粉预热器

      工作温度:400℃

      最高温度:1200℃

      最快升温速率:≤30℃/min

      推荐升温速率:10℃/min

      控温方式:智能化30段可编程控制

      工作电压:AC220V

      额定功率:800W

      控温精度:±1℃

      加热元件:电阻丝

       

       

       

       

       

       

       

       

       

      加热区参数:

       

      额定功率:5kw

      最高温度:1200℃

      工作温度:1100℃

      最大升降温速率:≤30℃/min

      炉管尺寸:高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管径可选)

      加热区长度:200+200mm  

      恒温区长度:290mm

      控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

      标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支;

      尺寸:约 550×380×600 mm(炉子)

      约:1700×380×620 mm(炉子+滑轨)

      可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

       

       

       

       

       

       

       

      气路系统参数:

       

      质量流量计参考量程(N2)100sccm200sccm500sccm (量程可选)

      准确度:±1.5%

      线性:±0.51.5%

      重复精度:±0.2%

      响应时间:气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

      工作压差范围:0.10.5 MPa

      最大压力:3MPa

      接口:Φ6,1/4''

      显示:4位数字显示

      工作环境温度:5~45高纯气体             

      内外双抛不锈钢管:Φ6

      压力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

      截止阀:Φ6

      连接头类型:双卡套不锈钢接头。

      可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

       

       

       

       

       

       

       

      低真空系统参数:

       

      国产油泵型号:BSV-10

      抽速:10m3/h

      极限真空度:5*10-1pa

      电源:220v 50hz

      电机功率:0.4kw  

      进排气连接口:KF25

      用油量:1.1L

      电机转速:1440rpm

      工作环境温度:5-40℃

      噪音:≤56db

      电阻真空计参数:

      1.配用规管:ZJ-52T电阻规,

      2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa,

      3.测量路数: 1路

      4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

      5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载,

      6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

      7.功耗: 20W

       

       

       

       使用注意事项

       

       

       

       

       

       

      • 炉管内气压不可高于0.02MPa 。  
      • 当炉体温度高于1000时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的 气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
      •  石英管的长时间使用温度<1100℃。
      •  对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)。
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