超高真空 (UHV) 光栅

特性：

? 由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低

? 残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境

? 120 °C烘焙温度

? 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零

? 无气密孔

? 高精度直线光栅和圆光栅系列

对于许多工业加工过程而言，如果环境中存在大量的空气或其他气体，则会对成品的质量造成损害，因此加工过程必须在一个残余压力水平极低的真空环境内进行。如果这些加工过程涉及运动控制，则必须用到真空兼容型光栅系统。

雷尼绍超高真空 (UHV) 兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计，用于各种科研、半导体和其他高级工业应用场合，真空压力达10-10 Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产品相同，但是UHV光栅在设计上消除了气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂特制而成。产品在UHV环境下的适用性已获得独立的专业检验机构鉴定，包括残留气体分析 (RGA) 光谱测试（可应要求提供）。

RESOLUTE?光栅系列

RESOLUTE系列是一款真正意义的绝对式、精细栅距光栅系统。它具有极强的抗污能力，其超凡的技术指标更是位置反馈领域的一大新突破。它是世界上第一款能够在100 m/s的速度下实现1 nm分辨率（直线光栅系统），在36,000转/分的速度下实现32位分辨率（圆光栅系统）的绝对式光栅。超低电子细分误差 (SDE) 和抖动使该直线光栅系统从同类光栅中脱颖而出。

此外，其还具有三个特定应用型号：

? RESOLUTE UHV（超高真空）为低至10-10 Torr的超高真空应用提供绝对式光栅技术，帮助客户提高生产效率，降低损坏风险，并增强可靠性。

? RESOLUTE ETR（宽温度范围）是一款真正意义的绝对式、精细栅距光栅系统，可以在温度极高和极低的环境下工作。

? RESOLUTE FS（功能安全）已获得SIL2和PLd认证，可用于功能安全应用。

RESOLUTE可配用选装的高级诊断工具ADTa-100和ADT View软件：可提供实时光栅数据反馈，辅助光栅安装和现场查错。

TONiC?光栅系列

TONiC系列是雷尼绍推出的超小型非接触式增量式光栅系统，速度可达10 m/s，与Ti接口配套使用时，在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差宽松，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC光栅的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常小于±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。

此外，其还具有两个特定应用型号：

TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的超高真空应用中，这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。

TONiC FS（功能安全）已获得SIL2和PLd认证，可用于功能安全应用。