.jpg "JEL小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S")
商铺名称：上海衡鹏企业发展有限公司
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邮编：200233
联系我时，请说是在焊材网上看到的，谢谢！
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 机械手臂 | ||
| 轴数 | 3轴 | ||
| 英文名 | wafer robot | ||
| 产地 | 中国 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 机械手臂标准臂长 | 90mm | ||
| 晶圆固定方式 | 真空吸附式，下托式 | ||
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 | ||
| 手臂 | 单臂 | ||
| 到达距离 | 175mm | ||
| 升降轴最大行程 | 150mm | ||
| 可搬运质量 | 0.1kg | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 类型 | 圆柱坐标型 | ||
| 型号 | SSCR3090S | ||
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JEL SSCR3090S小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点：
超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，
有利于实现设备的小型化
机械手臂标准臂长：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴使用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 单臂
到达距离 175mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 150mm
可搬运质量 0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准)
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