商铺名称：上海衡鹏企业发展有限公司
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邮编：200233
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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品名 | 晶圆机械手臂 | ||
| 轴数 | 3轴 | ||
| 英文名 | wafer transfer robot | ||
| 产地 | 中国 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 机械手臂标准臂长 | 100mm | ||
| 130mm | |||
| 160mm | |||
| 200mm | |||
| 使用环境 | 真空环境 | ||
| 手臂 | 单臂 | ||
| 到达距离 | 520mm | ||
| 可搬运质量 | 3kg | ||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 类型 | 圆柱坐标型 | ||
| 型号 | SVCR3260-020-PM | ||
晶圆机械手臂 JEL 3轴圆柱坐标洁净机械手SVCR3260-020-PM特点：
● 适用于真空环境
● 手臂关节使用磁流体密封装置
● 真空密封 采用磁流体密封装置及波纹管
● 洁净应对 手臂内部装有排气用过滤器
● 可搬运重量：手臂第三关节处基准2Kg以下
● 与弊司旧版SVHR系列具有互换性，可实现轻松替换
