JEL晶圆校准器waferalignerSAL3262HV使用伯努利吸附方式
JEL晶圆校准器waferalignerSAL3262HV使用伯努利吸附方式
产品价格:¥\u9762\u8bae(人民币)
  • 规格:完善
  • 发货地:上海上海
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    商品详情
      产品参数
      品牌JEL
      品名晶圆校准器
      产地中国
      加工定制
      晶圆尺寸2
      3寸
      100-150 mm
      方式伯努利吸附方式
      控制方式串口RS232C或者并口光学I/O口
      尺寸电仪
      批号电仪
      英文名wafer aligner
      类似自动
      数量9999
      封装电仪
      可售卖地北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆
      材质硅片
      型号SAL3262HV




      JEL晶圆校准器SAL3262HV特点:
      适用于2, 3寸, 100-150 mm晶圆
      可适用于硅片,带BG胶带(乳白色)的硅片,透明,半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准
      使用自主研发的图像识别传感器,采用了控制器和电机驱动器集成到设备本体内部的一体化设计
      可以根据晶圆尺寸,材质更改Spindle的直径,形状和材质可以使用伯努利吸附方式
      控制方式:串口RS232C或者并口光学I/O口
      不符合SEMI规格的缺口,缺边形状也可以提供定制设计
      能够为Spindle增加Z轴以满足对晶圆进行升降的需求
      晶圆重新拿起的动作对Z轴进行选择设定


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