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产品参数 | |||
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品牌 | Aerotech | ||
产地 | 美国 | ||
是否进口 | 是 | ||
特点 | 在长达 160 mm 的行程长度内提供纳米级定位性能 | ||
优点 | 完美地结合了精度、可重复性、速度和可靠性 | ||
精度 - 基本性能 | ±2.5 微米、±3 微米、±4 微米 | ||
平整度 | ±1.5 微米、±2 微米 | ||
负载能力 - 垂直 | 14 千克 | ||
驱动系统 | 无刷直线伺服电机 | ||
最大总线电压-CN1 | 80 VDC | ||
可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
用途 | 半导体加工与检测等 | ||
型号 | ANT130LZS |
ANT130LZS位移台以超低的外形代表了垂直运动性能的巅峰。具有极低摩擦特性的双侧安装气动平衡块,它们完美地结合了精确性、可重复性、速度和可靠性。ANT130LZS位移台具有令人印象深刻的动态性能和充足的承载能力,当您需要在紧凑的外形中实现卓越的垂直运动时,它是理想的选择。
设计特点:
?增强型第二代设计
?实现1 nm的最小增量运动-新的
?在长达160毫米的行程范围内提供纳米级定位性能
?提供超薄的侧面安装的双平衡块,能够抵消高达14千克的有效载荷,在垂直方向上实现超精确的性能
?采用高精度交叉滚子轴承,具有出色的动态性能和充足的负载能力
?利用无铁芯直接驱动线性电机最大限度地提高生产能力和可靠性
?轻松集成到多轴运动系统中
关键应用:
ANT130LZS载物台是高精度和高动态垂直定位应用的理想选择,具有最小的占地面积要求,包括:
?光子组装和检测
?光纤对齐和优化
?光学制造、测试和检验
?传感器测试和认证
?半导体加工与检验
?研究和实验室应用
行业领先的运动性能:
出色的精度、位置可重复性和在位稳定性要求极高的系统分辨率。现在,ANT130LZS提供了改进的高性能编码器选项,可以轻松实现1 nm的最小增量步长。我们的直接驱动技术没有滞后或反冲,能够实现精确和可重复的纳米级运动。此外,影响最小的配重设计可抵抗有效负载产生的重力,从而实现行业领先的性能和最佳的热稳定性。
非接触式直接驱动:
只有非接触式直接驱动技术能够提供大规模生产精密设备所需的稳健、精确和高速定位。ANT130LZS载物台使用我们先进的直接驱动技术来实现最高水平的定位性能。ANT130LZS配有抗蠕变交叉滚子轴承,可提供超平滑、一致的运动和出色的动态特性,从而提高您的加工能力。优化的驱动器和轴承组合封装在薄型外形中,在许多应用中提供独特的性能优势,例如高精度定位、光纤对准、光学器件制造和检测、传感器测试和扫描过程,这些应用需要平稳和精确的运动。
灵活的系统设计:
ANT130LZS系列具有通用安装和桌面模式,便于系统集成。两个、三个或更多轴可以很容易地结合起来,以实现灵活的系统设计和多轴配置。ANT130LZS载物台可轻松与其他产品结合,包括ANT130L、ANT130XY、ANT130R、ANT20G、AGS龙门架等,以提供复杂的多自由度运动和定位解决方案。
机械的
注意事项:
1.通过每个阶段的认证。
2.需要选择具有足够电压和电流的适当放大器。
3.原位稳定性报告为3-sigma值。需要1 Vpp编码器。
4.有效负载规格假设有效负载在轴上居中。
5.报告了在台面上方25 mm处测量的单轴的规格。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。对于多轴或非标准应用,请咨询工厂。
6.另外,性能要求使用Aerotech控制器。
7.为了确保在较长时间内达到规格并保持可重复性,环境温度必须控制在每24小时0.25°C以内。更多信息请咨询工厂。
8.气动平衡的气源必须清洁、干燥至0°F露点,并过滤至0.25 m或更高。Aerotech建议使用纯度为99.9的氮气。供给压力由载物台承载的有效载荷量决定。
与电有关的: