低温等离子法废气处理特点：
1:自动化程度好
2:工艺简洁，操作简单，方便
3:净化效率佳、无二次污染

等离子是由电子、离子、自由基和中性离子流组成，工作状态呈流星雨状导电性流体，属固态、液、气态之外第四种物质形态。等离子发生器整体保持电中性，安全可靠。
按离子的温度，等离子分为热平衡等离子体、非平衡等离子体和低温等离子体采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。
流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。
污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介

质内分子浓度及共存的介质成分。