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1200℃单温区双路气体CVD系统
产品型号：CY-O1200-60IC150-D2FH
主要用途：1200℃单温区双路气体CVD系统广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验；也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域
· 产品介绍
一、产品简介：
1200℃单温区双路气体CVD系统（配快速接头）主要由：1200型单温区管式炉、双路气体浮子流量计、CY-4C真空泵和大口径真空管道、挡板阀等组成；气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强,内壁洁净,不易污染气体.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接,不易泄漏.。广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验；也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。
二、主要特点：
1.该炉体采用上下“分-合”结构，易于取放炉管；
2.炉膛内部设计有对流栅格，炉体内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1100℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛采用进口节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
5.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布，并且发热元件已做内嵌式固化，加热时热能辐射均匀温和。
6.炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。
7.每台炉子出厂时：热点偶都已做严格的测温校验，不合格品严禁出厂。
8.每台炉子的控温系统出厂前都经过低温，中温，高温的老化测试，确保产品质量稳定可靠。
9.气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强,内壁洁净,不易污染气体.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接,不易泄漏.可以外接两种气体。
10.真空泵为双击旋片式，可以长时间连续工作，并配有油气过滤器，可以很好的净化油气，防止污染。
三、技术参数：
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1 |
产品名称 |
1200型单温区双路气体浮子流量计CVD真空管式炉 |
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2 |
常规型号 |
CY-O1200-50IC150-D2FH |
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3 |
CY-O1200-60IC150-D2FH |
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4 |
CY-O1200-80IC150-D2FH |
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5 |
CY-O1200-100IC150-D2FH |
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6 |
炉膛模式 |
开启式 |
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7 |
显示模式 |
高亮数码管显示(LED) |
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8 |
炉膛材料 |
进口纤维 |
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9 |
加热元件 |
进口合金加热丝 |
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10 |
极限温度 |
1200℃ |
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11 |
工作温度 |
≤1150℃ |
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12 |
升温速率 |
≤20℃(建议:10℃/min) |
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13 |
加热温区 |
单温区 |
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14 |
温区长度 |
440mm |
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15 |
恒温区长 |
100mm |
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16 |
炉管材质 |
高纯石英 |
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17 |
炉管常规直径 |
50mm |
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18 |
60mm |
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19 |
80mm |
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20 |
100mm |
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21 |
炉管长度 |
1000mm |
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22 |
密封方式 |
不锈钢真空法兰 |
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23 |
气 密 性 |
真空法兰和石英炉管的气密性最高可达4.03×10-3Pa |
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24 |
控制模式 |
智能PID多段程序控温 |
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25 |
控温精度 |
±1℃ |
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26 |
温度曲线 |
多段"时间—温度曲线"任意可设 |
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27 |
预存曲线 |
可预存多条温度曲线 |
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28 |
电流监控 |
指针式电流计 |
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29 |
电压监控 |
指针式电压计 |
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30 |
超温报警 |
有 |
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31 |
过流保护 |
有 |
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32 |
断偶提示 |
有 |
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33 |
测温元件 |
K型热电偶 |
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34 |
电气认证 |
CE认证 |
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35 |
供电电源 |
AC:220V 50Hz～60Hz |
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36 |
整机功率 |
2.5KW |
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37 |
气体通道 |
可连接2种气源 |
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38 |
流 量 计 |
浮子流量计 |
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39 |
A路量程 |
10～100ml/min |
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40 |
B路量程 |
16～160ml/min |
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41 |
气路压力 |
-0.1～0.15 MPa |
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42 |
系统真空 |
5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置） |
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43 |
泵路链接 |
KF16不锈钢质波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀 |
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44 |
真 空 计 |
标准配置机械真空计，也可选配电子真空计 |
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45 |
售后服务 |
15个月质保，终身保修 |
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46 |
包装形式 |
多层胶合板包装箱，包装箱不回收 |
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随机配件 |
石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。 |
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48 |
整套尺寸 |
左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm |
