基本参数(标准型)

X向量程：100mm

X轴分辨率：0.2μm

X轴指示精度：±（3+0.02L)μm

Z1向量程：25mm

Z1轴分辨率：0.05μm

Z1指示精度：±（2.5+|0.15H|)μm

Z轴高度：320mm   立柱行程

直线度：1μm/50mm

水平精度：±（1.2+0.02L)μm

垂直精度：±（1.5+|0.03H|)μm

驱动方式：X轴  Z轴 均为电动

检测方法： X轴 高精度光栅传感器 0.2μm

          Z1轴 高精度光栅传感器 0.05μm

驱动速度： X轴 Z轴（立柱）  4档，可自定义速度

测量速度：X轴: 0.1,0.2,0.5,1mm/s ,自定义

产品特点

★ 高精度小台式轮廓测量仪。

★ Z1轴采用高精度数字式线性传感器，测量范围大、精度高、稳定。

★ 采用高速并行数据采集单元，硬件触发、硬件高速采样，无延时。足够密集的数据源及稳定的数据源，为后期的数据处理、计算提供最有力的保障。

★ 大量程设计，杠杆比仅为1：2.2，最大限度保持了传感器的原有精度。

★ Z轴传感器整体结构无任何弹性元件，从而保证无论测针处于均任何位置测力是衡定的。

★ 软件自主研发，标注、操作方式与CAD一致，软件功能强大，有自动抬起、自动回退及捕捉功能。

★ 对测针进行补偿。

★ 拟合数据自动保存，便于多次标注