OPTIV PERFORMANCE / M 系列 高精度复合式影像测量仪

专利双Z轴复合式测量技术，实现亚微米范围内的测量精度，开创影像精密测量的技术新高。光学测量和接触测量结合在一个系统中，使得复合式影像测量仪极大限度地提高了测量效率和应用的灵活性。PERFORMANCE / M 还配备双Z轴技术，进一步缩短了检测周期，降低检测成本，提高测量结果可靠性。

集多传感器于一身，完成复杂的测量任务

Optiv PERFORMANCE / M 系列影像测量仪被广泛的应用于: 3C电子、半导体、精密机械、医疗、航空航天、计量院所等行业。

1)  CCD影像:

对小、薄、软、精密的被测特征进行非接触测量避免形变。

2)  CWS白光:

对柔软、反射或低对比度的表面进行亚微米精度级别的测量。

3)  接触式扫描: 

对影像无法完成无法识别的三维特征进行单点触发和连续扫描测量。