数十年经验结晶。性能稳定，宽量程比1000:1;

　　有管道式和插入式选择;分体式和一体式选择;无须温度压力补偿;精度可达1%;重复性0.25%;直接测量质量流量，

　　可显示相当于标准状态下的体积流量，适合各种气体质量流量测量场合。

　　原理：

　　利用二个匹配的铂热电阻(RTD)，该传感器牢固地安装在探测装置中。惠思顿电桥对其中一个RTD优先加热，而第二个RTD吸收流动气体的温度作为温度参照。由于热量从气体加热的RTD扩散，需要更多的功率维持平衡-该功率与气体质量流量成正比，因此而传感器可以直接测量气体分子的流速，EPI流量传感器无需压力温度补偿。

　　性能指标：

　　测量介质： 组份较稳定的单一或混合气体;

　　测量环境： 防爆、非防爆

　　流量范围：

　　管道式: 0slpm(标升/每分)-38000slpm(标升/每分)

　　插入式: 0.075m/s(米/秒)-200m/s(米/秒)

　　量 程 比: 通常100:1; 最大：1000:1

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