ASML 4022.486.86221

ASML 4022.486.86221设备简介及技术参数

一、产品概述

ASML 4022.486.86221是荷兰半导体设备巨头ASML（Advanced Semiconductor Materials Lithography）研发的一款自动化设备，专为半导体晶圆制造中的极紫外光刻（EUV）工艺设计。该设备作为光刻机核心组件之一，适用于先进制程（如7nm及以下节点）的微电子加工，具备分辨率、高速处理能力和的稳定性。宁德润恒自动化作为ASML在中国的授权合作伙伴，提供设备销售、安装调试、技术支持和原厂售后服务。

二、核心技术参数

1. 设备型号：ASML 4022.486.86221

2. 应用领域：

○ 半导体晶圆光刻（极紫外EUV技术）

○ 适用于图案转移（如逻辑芯片、存储芯片制造）

3. 关键性能指标：

○ 分辨率：≤ 13 nm（支持多重曝光技术）

○ 套刻精度（Overlay）：≤ 1.5 nm（3σ）

○ 生产效率：

■ 晶圆处理量：≥ 220片/小时（12英寸晶圆）

■ 运行周期：≤ 25秒/片（优化模式）

4. 机械与电气参数：

○ 尺寸：约 4.5 m (长) × 3.8 m (宽) × 3.2 m (高)

○ 重量：约 15,000 kg

○ 电源要求：三相 380VAC，功率约 120 kW

5. 环境要求：

○ 温度：20 ± 0.2°C（恒温控制）

○ 湿度：40%RH – 55%RH

○ 洁净度：ISO Class 1（需配套洁净室系统）

三、技术亮点与优势

1. EUV光源技术：

○ 采用ASML的极紫外（EUV）光源（波长13.5 nm），实现亚纳米级分辨率，满足先进制程需求。

2. 智能控制系统：

○ 集成AI算法，实时监测并优化曝光参数（如剂量、焦点位置），降低工艺波动。

3. 模块化设计：

○ 关键部件模块化，支持快速维护与升级，减少停机时间。

4. 运动平台：

○ 双工作台结构，结合磁悬浮驱动技术，实现μm级运动控制精度。

5. 兼容性与扩展性：

○ 兼容现有半导体生产线架构，支持未来工艺节点的升级需求。

四、供应商服务与支持

宁德润恒自动化服务内容：

1. 交付与安装：

○ 设备到场安装、调试及验证（含晶圆试产支持）。

2. 技术支持：

○ 24/7远程故障诊断与快速响应服务；

○ 定期技术巡检与性能优化建议。

3. 培训体系：

○ 操作培训：设备基础操作、规范；

○ 维护培训：模块更换、故障排除。

4. 零配件供应：

○ 原厂认证备件库，确保零件及时供应；

○ 长期备件采购折扣计划。

5. 售后服务：

○ 保修期内免费维护；

○ 保修期外签订长期维护合同，提供预防性维护服务。

五、使用注意事项

● 操作资质：需经ASML/宁德润恒认证的技术人员操作；

● 环境控制：部署恒温恒湿系统（建议搭配ISO Class 1洁净室）；

● 定期维护：建议每6个月进行一次校准与性能测试。

结语

ASML 4022.486.86221作为半导体光刻技术的标杆产品，其EUV技术突破与智能化设计为芯片制造提供了核心竞争力。宁德润恒自动化依托ASML原厂资源，通过本土化服务网络，确保设备运行，助力中国半导体产业升级。

ASML 4022.486.86221

联系人：吴经理 手机：18596688429（微信同号）邮箱：841825244@qq.com