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由于传统电解质的势垒放电，一种针状的微等离子放电发生在10 kHz操作下，从而导致不均匀照明。与之相反，高频射频放电在2 MHz操作下产生云状辉光放电，从而导致高均匀照明。这种特性使得准分子灯能提供最低闪烁的稳定输出。另外，传统柱状灯管只能直接在灯管中部以下实现联合照明，这将导致大量的紫外光被浪费。然而滨松公司的准分子等具有平坦而宽大的发光面积（长：488mm，宽：38mm），这将可能实现近距离照明更大的面积。
