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[实用新型] 一种新型谐波减速结构及谐波减速机
本实用新型涉及谐波减速机技术领域,尤其涉及一种新型谐波减速结构及谐波减速机,其中,谐波减速结构包括:波发生器,与输入轴连接;柔轮,可弹性变形,波发生器带动柔轮进行变形,柔轮与输出轴连接;刚轮,固定设置,且位于柔轮外;其中,柔轮和刚轮之间设置有滚针,柔轮和刚轮通过滚针进行啮合传动。本实用新型中,波发生器与输入轴连接,柔轮与输出轴连接,刚轮固定设置,波发生器带动柔轮进行变形,进行减速传动,在柔轮和刚轮之间设置有滚针,柔轮和刚轮通过滚针进行啮合传动,将原先柔性齿轮和刚性齿轮之间齿啮合的滑动摩擦转换为滚动摩擦,有效的降低了磨损,从而提高减速机寿命,在长时间使用后,也能保持高精度的减速传动。
[实用新型] 一种带料激光切割设备
本实用新型提供一种带料激光切割设备,设置于送料台正前方,包括机架和激光切割单元,激光切割单元设置于机架中,激光切割单元包括切割组件、水平调节组件和高度调节组件,切割组件包括激光器和激光加工头,激光器插设于激光加工头内,水平调节组件能驱动切割组件沿送料台宽度方向移动,高度调节组件能驱动切割组件升降,调节切割组件在机架中的高度。本带料激光切割设备使用无接触式激光切割方式,具备切割精度高、割缝细、切割质量好等优点,同时激光切割单元还具有水平、高度调节功能,扩展了本带料激光切割设备的适用性,进一步增加了本带料激光切割设备的切割精度和切割质量。
[实用新型] 一种晶圆边缘检测设备
本实用新型公开一种晶圆边缘检测设备。本实用新型涉及晶圆边缘检测技术领域。本实用新型的晶圆边缘检测设备包括:检测设备机身、边缘检测装置、边缘检测转动装置、晶圆放置盒以及放置盒支撑装置,可将晶圆放置在晶圆放置盒内,晶圆放置盒的上下表面为透明材质,上检测器和下检测器分别位于晶圆放置盒的上方和下方,边缘检测装置的底部固定在边缘检测转动装置上且能够随着边缘检测转动装置的转动绕晶圆放置盒转动,通过上检测器和下检测器对晶圆上下表面的边缘进行检测,整个检测过程中,晶圆在晶圆放置盒内无需移动,避免晶圆需要频繁地被操作移动导致晶圆边缘检测设备本身对晶圆造成细微损伤,可提升晶圆边缘检测过程中的良品率。
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