在线尺寸测量
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      在线尺寸测量

      高速、高分辨率,同时保持稳定,超精密测量。理想的精密阶段,半导体检验/制造系统,以及超精密加工机。


      ?高分辨率的规模与信号的波长比光波的干涉仪系统approx138nm,
      ?稳定性高,不受湿度,空气压力和空气的扰动
      ?参考点精度:±0.1μ米
      ?准确度:±0.04μ米或更好(测量长度:40毫米)
      ?完全非接触式设计,返回错误几乎是消除。
      ?特殊磁性和真空兼容型号
      ?使用低膨胀玻璃:- 0.7×10 - 6/℃(测量长度:10至420毫米)

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