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EL硅片缺陷测试仪设备主要参数：
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型号规格 |
EL140S-M |
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有效测试面积 |
1200mm X 2100mm |
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分辨率 |
140万像素或600万像素 |
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灵敏度 |
可检测出裂纹宽度小于0.2μm |
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测试时间 |
1s—60s自由设定 |
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测试方式 |
无接触式 |
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电源参数 |
单相220V 10A 最大加载电压80V，最大加载电流 10A |
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配置 |
测试机台（含红外成像仪）、电脑、专业软件 |
