产品名称：BDISCOM电源BDS SP 3 

产品型号：BDS SP 3

产品介绍：

BDISCOM是一家制造公司，生产直流低压和高压/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及台式射频等离子体反应器系列，还提供发电机、电源和过程控制系统。多年来积累了丰富的设计开发经验，通过不断地研究创新，提高产品质量及性能，满足客户需求。

BDS SP 3是用于直流溅射工艺的新型电源系列。

性能特点：

?所有单元均配备用户友好的主动式触摸屏显示器

?点火电压高达 1,1 kV

?电弧检测 DV/DT 关闭时间 < 1mSec

?冷却空气

参数：

?电源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)

?max功率输出：3、6 和 12kw FS

?max电压输出：1000 Volt FS

?max电流输出：6、12 和 25 安培

?点火：1,1 KVolt

?电弧探测器：< 200 nSec 检测，< 1 mSec DV/DT 关闭时间

?效率：> 90 %

?显示：触摸面板 240x128 像素

?调节模式：功率/电压/电流（可选）

?冷却：空气（强制）

?接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 选项）

?工作温度：5-40°C

?尺寸：19” 机架 - 4HU