尼康金相显微镜

集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到新的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。

最大观察样品:

ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；

使用CFI60光学系统，彻底消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮；

物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；

主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；

光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳； 
 

尼康L300N/L300ND金相显微镜主要特点

? 专为300mm晶圆和光罩检测 

? 利用更高的分辨率，对比度和透射CFI60光学系统 

? 更高的亮度比传统的显微镜 

? 新光源和四次美好的透射照明，先进的光学设计结果 

?预中心的灯箱提供更高的亮度，同时仅消耗一半的电力，并减少热致离焦 

? 电动物镜转换器比传统模式更耐用三倍

 应用 ? 晶圆 ? 液晶显示器 ? 其他各种检查

 两种机型可供选择： 

?  L300N：Episcopic照明类型 

最大样品尺寸：300mm晶圆 

第一阶段行程：354 x302毫米 

放大倍率范围：15X - 2000X（目镜和目标而定） 

?  L300ND：透射/ Episcopic照明类型 

最大样品尺寸：17英寸平板显示器（FPD） 

第一阶段行程：354 x302毫米（透射照明范围：354 x268毫米）

放大倍率范围：15X - 2000X（目镜和目标而定）

 各种各样的观测技术 

各种各样的观测技术，如明场，暗场，简单的偏光，DIC和外延flourescence观察，是可能的。 采用Epi - flourescence观察，紫外激发可应用于包括300mm晶圆和OLED检查应用。

 暗场观察 

新开发的暗场照明光学显着提高图像的亮度和提高分钟内样品的划痕和拓朴的检测能力。

 明场观察 

尼康CFI60系统 - 一个成功合并的CF光学系统无限远光学 - 高亮度，高对比度的图像。

 Nomarski DIC的观测 

 尼康L300N/L300ND金相显微镜采用单棱镜（Senarmont）系统，使所有的放大倍率DIC的观察，通过简单地插入物镜转换器单Nomarski棱镜。  DIC的图像清晰和与最小的色调明快，即使在低放大倍率。 高对比度型DIC的滑块允许更大的敏感性形成的DIC图像。

 半兼容设计 

 尼康L300N/L300ND金相显微镜符合半导体设备和材料协会（SEMI）为安全准则（S7 - 0703）和人体工程学（S8 - 1103）。 由于目镜的位置更贴近运营商，不触摸阶段的运营商，即使是他或她的走向，确保安全，舒适地观看。

 防静电更强有力的保障 

静电放电涂料已应用于身体的阶段，镜筒（L2 - TT2型），及各种控制。 这加强了防止污染的保障，并避免损坏由静电引起的样品，从而有利于单产提高。

 固定位置的XY控制 

 XY精运动控制仍然接近运营商在相同的位置，使其不必要的运营商，以延长他或她的手臂，移动舞台。 因为移动的标本和重点，可以进行一个手搁在桌子上，操作者可以重点观察。

 简单的访问控制 

主要控制旋钮和按钮都位于前面的基础，允许快速，操作简便，同时观看样品，并尽量减少在漫长的观测疲劳。

 对焦目标 

重点目标轻松地移动和光路允许在低对比度的样品，如裸晶圆容易对焦。

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