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微机电系统(MEMS)制造制程已经使得MOS传感器实现大量生产。以前它可用于同时印制200个传感器,但必须在实验室中以多层印刷材料进行。透过火焰热解的材料制造与沈积新方法意味着一座代工厂中每天可制造数百万个传感器。
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