1、?系统概述

1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；

1.2 防腐装置；

1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；

1.4 通信接口，蓝牙连接；

2、处理腔体

2.1 处理腔体内径不小于9.5英寸?(241毫米)；

2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；

2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质；

3、?旋转马达

3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm；

3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；

3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1；

4、控制系统

4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s；

4.2?配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006；

4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；

4.4 分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于±0.5RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；

5、配套泵浦

5.1 配套真空泵系统：无油型?220~240伏交流，50/60赫兹；

5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱?(~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ；

6、系统附件

6.1 原装进口水平测试仪；?

6.2 两袋密封圈；?

6.3 配有两套可更换的废液接收单元；

6.4 UD自动滴胶装置：UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒；

6.5 EBR晶圆去边，机械装置；

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