产品特点（部分）
l 测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms，能准确测量晶圆温厂均匀性；
l 使用便捷 仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数 据，并能自动生成测试报告，
支持U盘、蓝牙、无线网 络等多种方式导出数据和报告；
l 显示直观 最多支持20路实时测量(20路以上可定制)，显示实时点位图及温度分布图，
可在使用过程中实时观察各点温度变化；
l 功能强大 10000条历史数据存储量，能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据。
可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比；
l 便携易维护 便携一体化设计，配备磁吸支架可贴靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更换TC- wafer。

应用功能
l 半导体制造工艺调校
l RTP设备的测试、验证
l TC-Wafer的测试、验证
l 相 关 晶 圆 热 处 理 设 备 的 测 试 、 验 证 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;