1.产品介绍
桌面微型光刻机，专为微米级图案制作而设计，旨在保障卓越的图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源，结合双非球面石英透镜，可生成半角<2°的平行光，相较传统接触式曝光机，其极致紧凑的体积将移形换影置于桌面之上，为操作提供了便利与精准。
该光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐，桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力，助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。

2.技术参数
曝光光源:紫外LED；
光源波长:365nm;
曝光面积:4英寸、6英寸可选;
曝光方式:单面接触式定时曝光;
曝光分辨率:2um;
曝光强度:30~120mW/cm2可调；
曝光不均匀性:<5;
光源平行性:≤2°
光源寿命:>20000h;
电源输入:AC220V±10V，50HZ
功率:250W
重量:约22kg
外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)工作环境:温度0℃-40℃，相对湿度<80