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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| jel机械臂/4轴圆柱坐标洁净机械手SCR3100S 小径晶圆用 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 机械臂 | ||
| 轴数 | 4轴 | ||
| 英文名 | jel robot | ||
| 产地 | 中国 | ||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 晶圆固定方式 | 真空吸附式，下托式，边缘夹持式 | ||
| 手指材质 | CFRP(碳纤维) | ||
| 铝合金 | |||
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 | ||
| 手臂 | 单臂 | ||
| 到达距离 | 195mm | ||
| 升降轴最大行程 | 200mm / 300mm | ||
| 可搬运质量 | 0.5kg | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 类型 | 圆柱坐标型 | ||
| 型号 | SCR3100S | ||
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jel机械臂/小径晶圆用4轴圆柱坐标洁净机械手SCR3100S特点：
适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂SCR3100S系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，
有利于实现设备的小型化
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装0.1μm级过滤器
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
SCR3100S小径晶圆用4轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 单臂
到达距离 195mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 200mm / 300mm
可搬运质量 0.5kg (手臂第3关节处基准)
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