多弧离子镀膜设备 工具镀

技术参数:

▲夹具方式：采用公自转行星式齿轮结构，工件速度在1-15转/分钟可调。

▲控制气体方式：采用质量流量计控制，进气稳定，反映速度快。

▲靶:采用整体制造技术，严格缜密的磁场设计和磁场布局，溅射刻蚀均匀。

▲电源：配置有高频直流电源（20KW、40KW等规格）、直流脉冲电源（电压、占空比可调节），逆变电弧电源，并可根据实际的情况加装离子源等辅助设施。

▲抽气系统：采用国产品牌机械泵、罗茨泵、扩散泵，根据其真空室大小确定合理型号。也可以根据客户的需要配备分子泵或者进口泵等。

▲抽真空参数：从大气抽至5*10‾³Pa≤15min 极限真空度8*10‾4Pa 控制系统