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三相步进系统 Stepping System 具有直流输入型驱动器和马达组合，马达基本步距角为1.2°，可用于半导体制造装置，传真机等用途。 |
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五相步进系统 Stepping System 具有直流输入/ 交流输入型驱动器和马达组合，马达基本步距角为0.72°的低振动，高响应系统。适用于一般产业机械，半导体制造装置等要求低振动的设备。 |
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