HORIBA  STEC  SEC-4400 Series 流量控制器
HORIBA STEC SEC-4400 Series 流量控制器
产品价格:¥1(人民币)
  • 规格:SEC-4400
  • 发货地:上海
  • 品牌:
  • 最小起订量:1台
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    会员级别:试用会员
    认证类型:未认证
    企业证件:未通过
    认证信息:未认证

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    商品详情
      高可靠性和精度的流量控制器
      快速的响应时间
      金属密封.
      压电控制阀.
      316L不锈钢材质.
      5 ccm-100 slm流量
      技术规格:
      Model
      SEC-4400
      SEC-4500
      SEC-4550
      SEC-4600
      Standard Flow Range(N2 Eq.)
      5 sccm ~ 8 slm
      10 ~ 30 slm
      31 ~ 50 slm
      51 ~ 100 slm
      Wetted Materials
      M (metal) -Type: SUS-316L-R (viton) type
      Valve Piezo Valve
      (Normal Close or Normal Open)
      Flow Control Range
      2 ~ 100% F.S.
      Accuracy
      ± 1% F.S.
      Response
      <1.0sec. (500ms typical)
      Linearity
      ± 0.5% F.S.
      Repeatability
      ± 0.2% F.S.
      Operating Pressure
      14 ~ 42 psi
      21 ~ 42 psi
      Leak Integrity
      M-Type: 5x10 -10 Pa·m ³/s(He) or less
      Operating Temperature
      5 ~ 50 °C (Accuracy guaranteed 15 ~ 35 °C)
      Flow Rate Setting Signal
      0.1 ~ 5VDC
      Flow Rate Output Signal
      0 ~ 5VDC
      Power Supply
      ± 15VDC ± 5% 60mA
      Standard Fitting
      1/4” VCR, 1/4” Swagelok
      3/8”VCR,3/8”Swagelok
       
       
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