真空用步进电机 ●无需真空导入装置，可直接放入真空环境中使用的步进的电机 ●可轻松实现在真空环境下开环系统中的高精度控制 ●提供能在低真空到超高真空的各种压力环境中使用的客制品 ●能适应 200℃的高温环境 ●与常用的步进电机尺寸大体相同大致相同 ●适用于半导体制造设备、人造卫星用机器人 ●适用于电子显微镜、加速器、光辐射分析仪等实验室设备
