集成磁悬浮分子泵MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵可靠性高，抽速大，适合大气载应用。典型应用- PVD镀膜系统- 建筑玻璃镀膜- 光学镀膜- 液晶显示器- 平板显示- 科研- 分析领域技术特点- 任意方向安装- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF高真空接口- DN 40 KF前级真空接口- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧式）MAG INTEGRA。

技术特点

- 任意方向安装

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前级真空接口

- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列产品

MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS认证：满足UL要求

- 防护等级IP 54

- 两个工业通信模块卡接口

- RS 232，维护接口

- 可以安装其它接口：Profibus、RS

485 C，9针24 V SPS