英国Edwards高真空泵

英国Edwards爱德华从1939年开始制造真空设备直到现在，包含半导体与新兴技术、 一般真空产品和服务（售后支持），这些业务在其所服务的市场上不断发展。英国Edwards产品是半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池的制造过程中不可缺少的部分，应用于日益多范围化的工业过程，包括电力、玻璃和其他涂层应用、钢和其他冶金、制药和化学；适用于科学仪器和许多研发应用。

我们的目标是您的业务成功。您的Edwards设备的性能可实现这一点，以确保工具正常运行时间，晶圆产量，操作和对环境的影响小。

捕获泵技术可为从便携式质谱仪到大型粒子加速器的各种应用创建高真空（HV）和高真空（UHV）环境。它们可以经济的方式产生尽可能低的真空度。

离子泵

离子泵，也称为溅射离子泵或离子吸气泵，是使用阳极/阴极阵列使气体电离的捕获泵。离子溅射反应性阴极材料，产生化学反应，将离子化的气体变成固体化合物。这些化合物不再有助于真空系统的压力，而是捕获在离子泵中。离子泵可在10 -5至10 -12 mbar的压力下运行，大小范围为0.2至1,200 l / s的氮气。

钛热升华泵

TSP的工作方式是加热钛丝并将钛分子升华（从固相转变为气相）到表面上。然后可以将升华的钛分子与反应性气体（例如氧气和氮气）进行化学反应，并解离并扩散氢。TSP可以在10 -5到10 -12 mbar之间运行，抽速超过10,000 l / s的氢气。

不可蒸发的吸气泵

NEG是已被压在固体基材上或烧结成圆盘的活性金属。已发现锆，钒和铁的特定组合适合于HV和UHV环境。所使用的材料量控制着NEG泵的速度和容量，但通常范围为55至412 l / s，容量为630至3600 Torr l / s。当NEG充满气体时，可以重新激活它们而无需排入大气。

高真空泵的主要特点

消除机械振动

捕获泵没有活动部件。消除了运动部件产生的振动和电气噪声

高辐射耐受性

捕获泵由耐辐射材料超过108 Gray制成。连接器和电缆还采用耐辐射材料制成，可连续运行多年

耐高温

无需特别考虑，捕获泵可以烘烤至250°C。取下磁体可使高温烘烤达到450°C。长时间热烘烤对于每个特高压系统都至关重要

消除了定期维护

捕获泵几乎不需要维护，并且避免了昂贵的真空事件，因为它们与大气隔绝，节省了时间和资源

初期运营成本低

初始成本通常低于其他类型真空泵的可比规格。多年来低成本运行，它们消耗的功率很少或没有功率